實驗室超聲波清洗機的原理主要是基于超聲頻振動在液體中產生的交變沖擊波和空化作用。在超聲清洗中,換能器將電源所提供的電能轉變為超聲機械振動,并將此振動傳到清洗液中。當液體中有聲波傳播時,會產生空化現象,空化核在周圍產生上千個大氣壓,破壞不溶性污物而使它門分散于清洗液中。蒸汽型空化對污層的直接反復沖擊,一方面破壞污物與清洗件表面的吸,另一方面也會引起污物層的破壞而脫離。氣體型氣泡的振動能對固體表面進行擦洗,污層旦有縫可鉆,氣泡還能“鉆入”裂縫中作振動,使污層脫落。由于超聲空化作用,兩種液體在界面迅速分散而乳化。當固體粒子被油污裹著而黏附在清洗件表面時,油被乳化,固體粒子即聲流和輻射壓是大振幅波在煤質中傳播時產生的非線性現象。空化氣泡在振蕩過程中會液體媒質本身產生一種環流,即所謂聲流,它可使動氣泡表面處存在很高的速度梯度和應力,促使清洗件表面污物的破壞和脫落。

　　由于超聲空化在固體和液體的界面上所產生的高速微射流能夠去除或削弱邊界污層,腐蝕固體表面,增加攪作用,加速可溶性污物的溶解,強化化學清洗劑的請洗作用,此外,超聲振動在清洗液中時起質點很大的振動速度和加速度,亦使洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖走。上述作用機理可以理解為,當超聲波清洗就中傳播時，會產生空化，輻射壓，聲流等物理效應。物理效應對污物有機械剝落作用,同時能促進清洗液與污物的化反應,其中空化效應在產生超聲清洗過程起到主要的作用。

　　不同型號的實驗室超聲波清洗機在使用上有不同的要求,應按清洗機說明書的要求進行安裝使用,使用方法大概如下：

　　1.先將發生器和清洗槽連接好,接上電源。

　　2.清洗槽內倒入清水,約20-40mm深。

　　3.打開電源開關,指示燈亮,預熱1-2min后可開始工作(有的機器要先開低壓,預熱10分鐘后,再開高壓開關)。

　　4.旋轉功率調節旋鈕,使振動和氣泡大,此時指示電流表讀數也接近大。然后再調節功率,使清洗機進入正常工作。

　　5.把盛有硅片和清洗液的燒杯放入清洗槽中,即可進行硅片的清洗。